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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：代理AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率連續(xù)常壓CVD設(shè)備 AMAX800V

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    ● 8英寸/小時(shí)100張高通量 ●采用SiC托盤，可應(yīng)對(duì)重金屬污染， 實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定工藝 ●提高維護(hù)性 氣相沉積設(shè)備
    詳情介紹：
    特點(diǎn)

    通過改進(jìn)輸送機(jī)制實(shí)現(xiàn)高吞吐量。

    AMAX 型分散
    頭中的 SiH，經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進(jìn)行熱化學(xué)反應(yīng)    4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應(yīng)的后混合方法，
    提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

    SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
    穩(wěn)定，老化較少。

    標(biāo)準(zhǔn)配備托盤自動(dòng)更換功能，可縮短操作員的**性和維護(hù)時(shí)間。
    此外，通過采用自動(dòng)提升頭底座的機(jī)制，可以輕松進(jìn)行
    清潔。

    性能
    薄膜厚度均勻性 ≦±3.0%
    支持的晶圓尺寸 （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸
    氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
    沉積溫度 350～430℃
    生產(chǎn)力 ~100張/小時(shí)
    主要規(guī)格

    設(shè)備尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
    加熱機(jī)構(gòu) 電阻加熱
    卸載 機(jī)器人CtoC輸送
    分散頭
    （氣體噴嘴）     		AMAX 頭（標(biāo)準(zhǔn) 3 頭）
    氣相沉積設(shè)備氣相沉積設(shè)備

    產(chǎn)品留言
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