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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    ? 批量 常壓 CVD 設(shè)備，用于在大型托盤中裝載多個晶圓 氣相沉積設(shè)備
    詳情介紹：
    特點

    這是一種批量式氣相沉積設(shè)備
    常壓CVD裝置，在大型托盤中裝載多個晶圓，托盤在分散頭下往復(fù)沉積。

    可對應(yīng)異形基板。

    設(shè)備尺寸緊湊，占用空間小。

    性能
    薄膜厚度均勻性 取決于薄膜厚度和薄膜類型
    支持的晶圓尺寸 以可加熱區(qū)域為準(zhǔn)
    氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
    (TEOS, TEB, TMOP, O3， TMA 可選）
    沉積溫度 350～450℃ (200～350℃)
    生產(chǎn)力 ―
    主要規(guī)格

    設(shè)備尺寸 1200mm(W) x 2480mm(D) x 1940mm(H)
    加熱機構(gòu) 電阻加熱
    卸載 手動方法
    分散頭
    （氣體噴嘴）     		A63 頭
    蘇州代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

    南京代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

    常州代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

    昆山代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

    無錫代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501

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